磁控式真空裝置中永磁體的磁場分析

摘要： 針對(duì)現(xiàn)有真空吸取裝置高能耗問題提出一種磁控式擴(kuò)容真空發(fā)生-吸取集成的解決方案。通過COMSOL進(jìn)行磁場仿真分析，研究不同磁塊形狀、分布半徑和軸向距離對(duì)軸向永磁體之間磁力的影響。仿真結(jié)果顯示：在選定的4種磁塊排布方式中，圓柱體磁塊排布方式的軸向磁力最大，且磁塊之間需要分離排布才能實(shí)現(xiàn)最大的軸向磁力，但分布半徑進(jìn)一步增加，磁力F_τ變化量較小，可以忽略不計(jì)。采用N38釹鐵硼磁塊、厚... （共7頁）